1179A质量流量控制器是一种通用型的弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是对可重复性要求高的场合。配上合适的压力传感器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,1179A质量流量控制器是格式适应功能的替代物。标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%和读数的
1%。
例:型号1179A00411CR1A5VXX 采购序列号
校准气体(SEMI气体编号)*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校准流量SCCM-最大20000(相当氮气)
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
装配件(与以下兼容)
标配:(兼容)SwagelokR 4VCRR 凸接头 R
选配:(兼容)SwagelokR 4VCOR 凸接头 G
选配:(兼容)SwagelokR 0.25英寸管 S
长度适配器 w/ 4 VCR 配件** L
长度适配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W
阀门
常闭 1
连接器
模拟型:
9针D型接口 A
15针D型接口 B
20针边缘卡接口 C
15针D型变换接口(Brooks) E
单元设备15针D型接口 N
Millpore15针D型接口 T
数字型:
RS-485 5
DeviceNet 6
密封
标配: VitonR V
选配: NeopreneR N
选配: Buna N B
选配: KalrezR K
固化软件版本(仅对DeviceNetTM)
除非特别说明,MKS将发运订货时的最新固化软件版本 XX
用于1179A的电缆线
CB147-12-10用来将1179 9针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用来将1179 15针D型接口连接至246, 247,
CB147-1-10用来将1179 15针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用来将1179 20针边缘卡接口连接至246, 247
CB147-7-10用来将1179 20针边缘卡接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647
*其他气体编号见附录B
** 1259C-XXXXX-RX的匹配长度
***1259C-XXXXX-SX的匹配长度