Pinnacle®系列直流磁控电源

Pinnacle®系列直流磁控电源

优势:

◆最低的运行和安装成本

◆业界最快的弧反应时间

◆可配置的弧反应参数

◆最大的工艺效率

◆精确的工艺控制

特点:

◆最低的存储能量——每千瓦输出不到1mJ

◆无需调节输出变压器

◆4:1的阻抗范围

◆靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间

◆±0.1%的输出重复性

◆Joule模式——最优化的能量传送.

规格：

◆输入电压：200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4线、50/60kHz

◆功率因素：负荷＞90%

◆输出电压：低Z、标准Z或高Z

◆输出极性：浮动默认值，具有正和负功能

◆输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS

◆输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%。

◆负荷调整：±1%，输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的负荷变化

◆温度系数：＞20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化＜0.005%/℃

◆模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字

            37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字

            37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字

◆串行通信选项：RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K）

            AE Bus协议

            ASCⅡ协议（MDX和仿真）

            Profibus（可选波特1.5或12MB）AE Bus协议

            具有DeviceNet®选项

◆输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环

◆输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头

◆尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）

◆重量：29.5kg

Pinnacle®6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW