XTC/3石英晶体膜厚控制仪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
XTC/3石英晶体膜厚控制仪
产品型号:
XTC3/M,XTC3/S
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
XTC/3石英晶体膜厚控制仪是－款先进,实用的单层和多层镀膜速率控制，无论您需要控制产品的合格性，或是用于生产、科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。
XTC/3石英晶体膜厚控制仪的详细介绍
XTC/3石英晶体膜厚控制仪装备有ModelLock1专利技术，用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪，提供可靠的模式跳跃防止功能，可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪，可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度，具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和极高的可靠性，可确保高的生产率。
特点：
有单膜层和多膜层型号
ModeLock专利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
支持INFICON Crystal 12™, CrystalSix®和双探头自动晶体切换,用于最高生产率
XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源
XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源
易阅读的TFT LCD图形显示器
为便于检索，可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
有以太网连接件
单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件
INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)
技术规范：
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功能，参数，或技术规范
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XTC/3S单层膜
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XTC/3M多层膜
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测量分辨的频率变化
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＋0.05Hz
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＋0.05Hz
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测量区间
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0.25秒
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0.25秒
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厚度和速率分辨/测量
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0.06A,在工具/密度＝100
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0.06A,在工具/密度＝100
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基频＝6M Hz
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基频＝6M Hz
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支持XTAL2转换
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是
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是
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计算机通讯
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RS232标准,以太网TCP/IP选件
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RS232标准,以太网TCP/IP选件
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最大RS232波特率
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115.2千波特
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115.2千波特
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继电器数
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12标准, 无事例可指定
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12标准, 事例可指定
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可编程继电器功能数
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1
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1
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每个继电器功能
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1
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1
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继电器电压额定值
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30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
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30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
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42V峰,在2.5安
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42V峰,在2.5安
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输入数
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8TTL, 24伏直流最大
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8TTL, 24伏直流最大
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可编程输入功能数
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1, 无事例可指定
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1, 事例指定
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记入仪输入数
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1
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1
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手动电源/手持控制器
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是
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是
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排风扇
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无
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无
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测试模式
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是
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是
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挡光器延迟
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是
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是
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次级工具
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是
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是
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最大允许相移频率
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1.0 M Hz
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1.0 M Hz
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机箱尺寸
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1/2机架,2U高度
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1/2机架,2U高度
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速率和膜厚显示分辨
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0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从
100至999A/秒
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0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从
100至999A/秒
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显示膜厚分辨=1A
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显示膜厚分辨=1A
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通过输入选择镀层
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是
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否
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用户指导语言
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英文，中文
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英文，中文
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控制环
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PID
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PID
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数据登录
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是
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是
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质量和稳定性功能
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是
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是
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样品和保持
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是
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是
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坩埚选择
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是
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是
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坩埚反馈输入
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是
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是
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选择控制电压极性
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是，+/-2.5，5，10伏
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是，+/-2.5，5，10伏
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15-位分辨率
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15-位分辨率
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程序锁定码
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是
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是
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用户标签过程/镀层
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否
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是
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XTC/2 RS232通讯兼容性
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是（有限的）
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是（有限的）
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