comdel射频电源
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
comdel射频电源
产品型号:
CX系列
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
成立于1966 年的Comdel公司位于美国马塞诸塞州的波士顿海滨，是一家长期专业致力于射频电源研发和生产的高科技公司。产品可用于太阳能、等离子清洗、半导体、平板显示器、工业加热等广众的领域。80年代以前，Comdel一直为美国海军提供低噪声远距离通讯电源，80年代以后，军方允许向民品市场提供各种高频设备。 其产品种类 单频射频电源 双频射频电源 自动调谐匹配网络
comdel射频电源的详细介绍
comdel射频电源的主要特点是：
1、首创的全固态RF 射频电源用于等离子体放电驱动电源，确立了他在行业中一直处于领先地位。
2、Comdel 持有射频电源的一项“S”技术专利，使得高频传输线不再受长度限制。
3、Comdel 全部产品安全及质量标准符合“美国国家认证检验实验室标准”，公司通过ISO9001:2000 质量认证体系。
CX 系列高频电源
在世界范围内广泛认可，应用于等离子体真空系统，具有高可靠性的电源.
产品性能
CX 高频系列输出功率可达600W 到3500W，工作频率为2-30MHz，可调谐范围为10％。其固态设计使得产品价格低、可靠性高。
应用对象
CX 产品系列可以作为射频驱动等离子体系统的电源。该系统可应用于半导体工业。应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD 、PVD 和PECVD等系统，也可作为工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。
产品特点
● 全固态设计:体积小,长寿命低维护
● “S”专利技术:解决了传输线长度受限制的问题,同时可提高抵抗由于等离子体阻抗波动带来的功率增益变化,从而提高电源的寿命和匹配网络的稳定性
● 通过了多项国际安全认证(CE,ETL,SEMI F47),使产品的安全性能得到保障
● 本地控制面板通过4个软键和高精密编码器进行操作,高清晰兰色背光液晶显示屏,使得操作过程简单而舒适
● 远程控制接口:标准RS232,数字/模拟控制接口,DeviceNet(可选)
● 多种安全保护技术:过温保护,失谐保护,过流保护,射频输出连接器互锁,控制信号保 护等
● 控制电路确保了在高压驻波比条件下的可持续性
普通技术指标
功率控制：0-10VDC 输入控制0 到最大额定功率输出
功率控制线性度：设定功率大于额定功率的10％的情况下，小于2％
频率：2-30MHz 间任意频率
频率稳定度： 13.65MHz+/-0.005％
Match Pro系列自动匹配器
极快的调谐速度、准确的调谐结果、可重复性的过程数据
产品性能
每一款Match Pro 系统均嵌入Comdel 公司专有的PROTRAK 算法，当接近调谐点时，这种高速调谐算法逐渐的减缓系统的速度，即使在 “Q”值很高时也很容易找到匹配点。在调谐过程中，这种比例控制线路体现了Match Pro 和其它匹配网络的区别。
Match Pro 可以很快的将输入阻抗调整到50Ohms，调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。
Match Pro 工作功率范围为50-50000W。
产品特点
可远程手动控制和部分控制功能的自动化
电容定位输出显示过程变化中匹配点
高功率、H－bridge、Mos 驱动线路提高了可靠性
普通技术指标
频率范围：2-40MHz
输入电压/功率：220VAC ;单相；50/60Hz（其它输入电压需特殊定制）调谐时最大功率为50W
VSWR：在50-Ohm 系统中注波比通常在1.5-1 之间
冷却方式：强迫风冷或水冷
安装：为了得到最大工作性能，Match Pro 工作单元必须靠近真空室。用户安装与其相适应。