XT Series残余气体分析仪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
XT Series残余气体分析仪
产品型号:
XT100(M)、XT200(M)、XT300(M)
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
XT Series残余气体分析仪是一种可用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测极限，带有分析软件和RS232接口。
XT Series残余气体分析仪的详细介绍
残余气体分析仪是在真空腔内利用RGA离子分化器将气体分子电离，电离后的带电粒子进入四极杆产生的偏转电场内，由于不同的粒子质量数不一样，在一定的电场作用下所形成的偏转半径就不一样。相当于我们在四极杆上加特定的电场就会有特定质量数的离子打到探测器阳极上，探测器所产生的电流正比于气体分子的浓度。进一步改变电场，就可以检测到不同质量数离子的浓度。之后我们再做电场扫描，就可以计算出真空腔中所含气体的成分。
美国Extorr的XT Series残余气体分析仪（RGA）划分为100、200、300amu三种型号，其优异的性能和价值是真空分析仪的领先产品。并且Extorr提供的残余气体分析仪的价格不到同类产品的一半，每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成。实时分析的windows软件包可以更方便的用于数据采集和分析，并可进行远程控制。
XT Series残余气体分析仪特点：
集成皮拉尼和离子规残余气体分析仪
100，200和300aum
法拉第探测器可选电子倍增器
实时Windows ®软件的多探头操作能力
现场可更换双钍铱丝
分辨率优于1aum
单次扫描 8个数量级的动态范围
质谱，泄漏检测和压力随时间的模式
建立在诊断，轻松升级软件和硬件的基础上
完全插入探头
RS-232计算机接口
XT Series残余气体分析仪应用领域是：
1、检漏。
2、真空设备本地状况监测。
3、在线工艺气体分析监测。
XT Series 残余气体分析仪技术参数：
质谱范围 XT100(M) 1 to 100 amu
XT200(M) 1 to 200 amu
XT300(M) 1 to 300 amu
质朴滤波器类型 Quadrupole
探测器类型 Faraday cup (FC), standard Electron multiplier (EM), optional
分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constant peak width
throughout the mass range.
灵敏度(A/Torr) 5x10-4(FC)
探测极限 5 × 10−11 Torr (FC),
5 × 10−14 Torr (EM)
测试范围 10−4 Torr to UHV (FC)
10−6 Torr to UHV (EM)
操作温度 50°C
烘烤温度 300 °C (without ECU)
总压测量 Available in Pirani, BA and RGA modes
离子发生器设计 Open ion source, electron impact ionization
探测器材料 SS304, Kovar, Tungsten, Alumina, Iridium, Copper,Nickel
灯丝 Dual thoria coated iridium with firmware protection.Built-in 1 to 30 W degas ramp-up. Field replaceable.
电子能量 40 to 150 V, programmable
离子能量 3 to 10 V, programmable
电子发射电流 0.2 to 5 mA,programmable
探测器尺寸 6.7" from flange face to top of ionizer
CCU 扩展 5.5" from flange face
最小管道直径 1.375"
探测器安装法兰 2.75" CF
CCU直径 3.3" x 4.8"x 7.5". Easily separated from the probe for bakeout.
预热时间 Mass stability ±0.1 amu after 30 minutes.
电脑接口 RS-232C, up to 115,200 Baud
软件操作系统 Windows® NT, 2000, XP based application.Requires Pentium or better.
电源要求 24 VDC @ 2.5 Amps. Standard 120 VAC adapter supplied.
重量 5 lbs.