磁控溅射阴极
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
磁控溅射阴极
产品型号:
ONYX ®
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
美国安斯超科学公司(Angstrom Sciences，Inc)成立于1988年, 是一家专业从事物理气相沉积磁控溅射阴极的高科技专业公司。专利的磁场设计和独特的水冷技术使其产品倍受欢迎。产品主要应用真空镀膜的各种领域：航天航空，太阳能，微电子，材料科学，光学，装饰，显示器，数据存储等。
磁控溅射阴极的详细介绍
安斯超科学（Angstrom Sciences）公司磁控溅射阴极的设计用于以满足严格的薄膜均匀，靶材利用率和溅射速率要求。安斯超科学专利的切面磁铁和湍流水冷设计除了提供这些优异的性能之外，安斯超科学的溅射阴极还具有更多的优点：
多功能，紧凑型设计
ONYX ®磁控溅射阴极是为超小型和复杂的多阴极集合兼容专门设计的。这种多用途的结构带来的可扩展性，使ONYX ®磁控管成为成为系统升级和改造的理想的选择。
电源兼容性
低阻抗溅射头跟RF，直流，中频直流，直流脉冲，微波电源兼容。
标准接口
安斯超科学使用标准的ISO法兰和刀口金属密封法兰。通过标准的O形圈安装在任何真空系统。
高性能
安斯超科学磁控管工作在低的工艺压力，在10-4托的范围内，并且可以提供实际的功率密度超过每平方英寸300瓦。超高的功率密度允许ONYX ®磁控管在不影响溅射速率的情况下使工艺镀膜区和靶材利用率达到最大。
更好的薄膜均匀度
标准ONYX ®磁控溅射阴极的沉积均匀性在± 3 - ± 5％的范围，但是，安斯超科学可以根据客户的规格提供磁铁的排列。一个研究型客户甚至记载ONYX ®磁控管的均匀度达到± 0.1％。
更高的靶材利用率
这些先进的磁控管可以给你靶材利用率高达50％
清洁工艺
阳极屏蔽罩允许操作在较低的电压和压力，因为阳极屏蔽降低阴极和阳极（接地层）之间的距离。阳极屏蔽罩也阻止阳极和阴极之间的碎尘，防止电气短路和电弧。
尺寸规格齐全
安斯超科学圆形磁控管适用于1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 10, 12和16英寸的靶材直径。条型磁控管适用于1.5到12英寸的宽度和1到13英尺的长度的靶材。旋转圆柱磁控溅射阴极的设计适应直径3-6英寸直径靶材。
总承诺
磁控溅射阴极是安斯超科学的核心产品，我们致力于确保您拥有最高质量的溅射沉积工具。每个ONYX®磁控管确保在2年内不会工艺和材料的缺陷 – 这在行业中最长的保修保证。我们随时准备为您提供您可能需要在规格，安装，启动，和服务的任何帮助。