电子束蒸发真空镀膜机
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
电子束蒸发真空镀膜机
产品型号:
TSV1300
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
电子束蒸发真空镀膜机专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计，各系统单元和总体结构很好地满足了光学薄膜生产工艺的要求，适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜。它配置了大功率的离子源、高精度的膜厚控制系统、性能优良的电子枪、自动化程度极高的镀膜控制系统等，是高精度光学薄膜的理想镀制设备。
电子束蒸发真空镀膜机的详细介绍
TSV1300电子束蒸发真空镀膜机技术参数：
- 设备结构：箱式立式前开门。（内腔尺寸，φ1300mm×1500mm）。
- 烘烤最高温度：380度。
- 整机主系统空载极限真空度3小时内达到2×10－4Pa。
- 工作真空度：系统暴露大气后恢复真空度3×10－3Pa ，小于15分钟。
- 电子枪：两把270度E型枪，功率:10KW。
- 晶控仪：美国inficon公司SQC310或XTC3M晶控仪
- 真空系统控制采用10.4寸触摸屏+进口PLC控制，可实现真空系统连续自动控制。
- 扩散泵和高阀之间配合肥方汇低温技术有限公司生产的冷阱两套。
- 保护装置：门上配备高压保护装置（防止漏电）以及开门限位装置。
根据客户要求可选TSV700、TSV900、TSV1100等不通尺寸的真空镀膜机，欢迎联系索取资料jjy1974@163.com。主要客户：广州晶和、长春富瑞、东莞科普达、东莞澳金、广州旭成、深圳凯涛、复旦大学、广州澳义等
Copyright@ 2003-2012
利方达有限公司版权所有
粤ICP备09096984号-1 网站管理入口