PEII 系列中频电源
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
PEII 系列中频电源
产品型号:
PE II 5KW、PEII 10KW
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
AE电源PEII 系列中频电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。高效能、紧凑型水冷式设计。
PEII 系列中频电源的详细介绍
PEII 系列中频电源
优点
●恒功率、电压或电流输出
●最高的灵活性与模块性
●强大的电弧控制
●自动制程保护装置
●极宽的祖抗匹配范围
●高功率密度
PEII 5K
●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）
●输出频率：40kHz±0.01%
●输出功率：5000W
●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●输出电流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1
●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）
●重量：40.8KG
PEII 10K
●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）
●输出频率：40kHz±0.01%
●输出功率：10000W
●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●输出电流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1
●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）
●重量：40.8KG