旋转型多坩埚电子枪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
旋转型多坩埚电子枪
产品型号:
244/246/249、264/266/269 、274/276/279 、294/297 、295
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
Telemark公司是位于美国硅谷的一家专业生产用于蒸发镀膜设备的电子枪及其控制电源、电子束扫描和蒸发速率控制器以及专门用于抽水蒸汽的低温冷阱的制造商。
旋转型多坩埚电子枪的详细介绍
旋转型多坩埚电子枪
技术特点
埚体易拆卸，便于坩埚的清洗和更换
270 度电子束偏转( 暗藏灯丝）
专利型水冷却设计可大大的延长坩埚的使用寿命，提高膜料蒸发均匀性
设计结构可靠
易于使用和维修的优化设计
采用永久磁铁，初始电子束定位容易，改善蒸发工艺的控制
精密设计的枪头组件，可增加灯丝的使用寿命
插入式枪头组件便于灯丝更换
侧部或底部坩埚旋转驱动
247/266/277 型电子枪上使用的旋转式馈入装置，对水和真空的密封性高
改进型永久磁铁减少扎坑现象
该新型电子枪是在传统电子枪的基础上通过改变对磁场的设计加工而成，它可以使电子束以垂直角度入射蒸镀膜料，及增加熔炼膜料的使用面积，并使膜料的熔炼更均匀形成蒸发，该电子枪上可选配无弧装置或自密封式盖板。
294 型“垂直入射”电子枪
该新型10 千瓦电子枪可携带6 个40CC 的坩埚或一个475CC 的槽形坩埚，其永久磁铁技术改型，以及无弧装置使该型号的电子枪成为光学镀膜工艺的最佳选择，如果在该枪上匹配自密封式盖板，那么该电子枪又可用于联合蒸镀工艺( 金或其他膜料在坩埚中交替使用) 。
295型大容量，多坩埚电子枪
对于需要大蒸发膜料容量的运用来说（列如多层膜或厚膜层，较远距离的蒸发），该型号的电子枪可以满足需要，295的电子枪可携带6个100cc的坩埚货18个15cc的坩埚，或10个40cc的坩埚或者一个1486cc的槽型坩埚。可用和10KW或15KW的电源相匹配，同时可选灭弧装置。
|
规格
|
211/241/247
|
265/266/270**
271/272**/277
|
294
|
295
|
|
电子束偏转
|
2700
|
2700
|
2700
|
2700
|
|
功率
|
6KW*
|
10KW*
|
10KW*/15KW*
|
10KW*/15KW*
|
|
最大高压
|
-10KV
|
-10KV
|
-10KV
|
-10KV
|
|
高压范围
|
-6KV 至-10KV
|
-6KV 至-10KV
|
-6KV 至-10KV
|
-6KV 至-10KV
|
|
纵向线圈电阻
|
8.5 ohms
|
3.0 ohms
|
3.0 ohms
|
3.0 ohms
|
|
槽向线圈电阻
|
7.5 ohms
|
9.6 ohms
|
9.6 ohms
|
9.6 ohms
|
|
灯丝功率
|
最大600 瓦
|
最大600 瓦
|
最大900 瓦
|
最大900 瓦
|
|
冷却水要求
|
2 加仑/ 分@ 60F
|
3 加仑/ 分@600F
|
5 加仑/ 分@60F
|
5 加仑/ 分@60F
|