FC-7700质量流量控制器
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
FC-7700质量流量控制器
产品型号:
FC-7700CD，FC-77XX 系列
产品展商:
利方达有限公司
简单介绍
Aera®FC-7700质量流量控制器是经实践验证的适用多种应用场合的标准产品，该流量计采用非金属密封，流量控制精确，性价比高。该产品专为从业于半导体、平板显示、数据存储、工业真空和工业镀膜市场的 工艺和设备工程设计，同时，该系列产品在CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其他镀膜工艺等非腐蚀性气体应用领域表现出良好的可靠性和优异的性能。
FC-7700质量流量控制器的详细介绍
Aera FC-7700质量流量控制器
性价比高
FC-7700质量流量控制器专为那些要求顶极性能，但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要
求的应用而定制，不仅性价比好，而且控制精度非常高。
响应速度快
FC-7700质量流量控制器采用最新技术设计,工作性能远远优于同类质量流量控制器
(MFC)。其先进之处包括:采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外,与采用低速热敏阀的同类产品相比，FC-7700系列质量流量控制器产品采用常开或常闭式电磁阀,具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲或欠冲,达到设定点的时间不到2秒一一在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是最快的。
无与伦比的可靠性
由高质量的电子组件和采用耐用、最少元器件的设计理念，这使它可以经受强射
频场的干扰满足其它运转要求，并具有同类产品中最佳的零点漂移稳定性一一
使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上产品
中,仅有不到0.5%的产品在出货后一年内返修。
易于集成
替换其它品牌，即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有系统。
出众的效果
FC-7700系列质量流量计带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性，同时还有高度的可重复性。
型号参数：
类别 | FC-7700 、 7700C 、7700CD 、7700CU | FC-7710 、7710C 、7710CD 、7710CU | FC-7720 、7720C 、7720CD |
满量程范围 | 10sccm 到5slm | 6 到20slm | 35 到150slm |
20 到50slm |
响应时间 | 到达设定点±2% 所需时间<2 秒 | 到达设定点±2% 所需时间<3 秒 |
精度 | 满量程±1% 范围内 | 满量程±2% 范围内 |
线性度 | 满量程±0.5% 范围内 | 满量程±0.5% 范围内 | 满量程±1% 范围内 |
满量程±1% 范围内 |
重复精度 | 满量程±0.2% 范围内 |
漏率 | 最大值1 ×10-6 atm-cc/ 秒( 氦) |
控制范围 | 满量程的5 到100% |
压差 | 7 至40 psi | 10 至40 psi(517 至2069 托) | 21 至40 psi(1086 至2069 托) |
(362 至2069 托) | 14 至40 psi(724 至2069 托) |
正常工作压力 | 50 psi(2586 托) |
最大入口压力 | 最大值150 psi(7740 托) |
温度范围 | 5 至45 ℃ |