AFC质量流量控制器

AFC质量流量控制器技术参数:
精确度:   ±1% 满量程度FS (线性范围: 气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas); ±2%F.S (线性范围: 气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)
重复性:   ±0.2%F.S
时间常数:    AFM系列—300ms

               AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms

               AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms

               AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms
响应时间:  AFM 系列  在设置流速(25~100% F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒      
温度系数: ±0.1%F.S/℃
压力系数: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)

    最佳气体压力: 25 psig(1.73bars)

    最大的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力

    气体和环境温度: 5℃~50℃

    漏率:最大漏率1*10^-9smL/sec (He)

    流体接触材料: 316或416不绣钢, Viton O型圈, 备选O型圈:Neoprene或Kalrez

    安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置

    输出信号:  0~5V (2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号.最大的峰值噪音20mV

    连接口:   AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.

备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings.

传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;

          AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.

电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。