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真空镀膜设备
inficon 晶控仪、检漏仪、规管、RGA
Edwards(爱德华)干泵、分子泵、真空计、罗次泵、机械泵
MKS质量流量控制器、电容薄膜规
pfeiffer分子泵、检漏仪、规管、RGA
varian检漏仪、分子泵、干泵
aalborg质量流量控制器
telemark电子枪、低温冷阱
Essential Macleod光学薄膜设计软件
压电阀
Extorr RGA残余气体分析仪
angstrom sciences磁控溅射阴极
Polycold低温冷阱
椭偏仪(angstrom advanced)
comdel射频电源
AE磁控溅射电源、射频电源
AE(Aera)质量流量控制器
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