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MKS真空仪器及流量控制产品
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流量测量及控制产品
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产品简单介绍
流量测量及控制产品
1179A,2179A,1479A,1559A等
MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一, 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。流量测量及控制产品是MKS的核心产品。
1179A质量流量控制器
1179A
1179A质量流量控制器是一种通用型的弹性密封的质量流量控制器, 其满量程范围从10 sccm-20 slm, 模拟和数字通讯口可选。
质量流量控制器
2179A
2179A MASS-FLO® 系列橡胶密封带截至阀质量流量控制器, 其满量程范围从10 sccm-20 slm, 模拟和数字通讯口可选。
质量流量控制器
M100B
M100B是一种弹性密封的质量流量控制器,可在生产、分析、工业以及测试等多种应用场合中用来控制气体的流量,其满量程范围从10 sccm–50 slm
质量流量控制器
1579A
1579A弹性密封质量流量控制器是普通用的质量流量控制单元,其量程为50slm(106scfh)到300slm(638scfh)。1579A 数字控制电路与平衡阀结合,具有1秒以内的响应时间。1579的精度为全量程标准的±1% 。
质量流量控制器
1559A
1559A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器,1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。
质量流量控制器
1479A
1479A质量流量控制器/质量流量监视器, 其满量程范围从10 sccm – 20 slm,各种模拟和数字通讯口可选。
质量流量控制器电源和显示仪
246C、247D、647C
246/247 单/四通道质量流量控制器电源和显示仪。 提供质量流量控制器电源, 流量设置和流量显示。647 四或八通道电源和显示仪。 提供压力传感器和质量流量控制器电源, 显示一路压力值, 四路或八路流量设置和显示。 PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。
626B Baratron®薄膜电容式压力传感器
626A,626B
626B Baratron®薄膜电容式压力传感器(工作在室温),又称626B绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000 Torr, 精度: 读数值的 0.15%。626A已停产,626B是替代型,技术参数上没有什么区别,626B多个环保标识而已。
Baratron®薄膜电容式压力传感器
622A、622B
622B Baratron®薄膜电容式压力传感器(工作在室温),又称622B绝对压力传感器, 满量程范围: 1 – 1000 Torr, 精度: 读数值的 0.15%。622A已停产,622B完全替代,多个环保标识而已。
Baratron® 薄膜电容式压力传感器
627D、627B
MKS 627D Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在45℃),又称627D绝对压力传感器, 满量程范围: 0.02 – 1000 Torr, 精度: 读数值的 0.12%。
Baratron® 薄膜电容式压力传感器
722A、722B
722 Baratron® 薄膜电容式压力传感器(工作在室温),又称722紧凑型绝对压力传感器, 满量程范围:1 – 2500 Torr, 精度: 读数值的 0.5%。
压力测量及控制产品
622B、623B、626B、627C/D、628B
MKS是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一, 其压力测量及控制产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。
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