MKS真空仪器及流量控制产品

主营产品：石英晶体膜厚控制仪氦质谱检漏仪真空规管真空镀膜机

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产品列表

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	流量测量及控制产品 1179A，2179A，1479A，1559A等	MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。流量测量及控制产品是MKS的核心产品。
	1179A质量流量控制器 1179A	1179A质量流量控制器是一种通用型的弹性密封的质量流量控制器，其满量程范围从10 sccm-20 slm，模拟和数字通讯口可选。
	质量流量控制器 2179A	2179A MASS-FLO® 系列橡胶密封带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10 sccm-20 slm，模拟和数字通讯口可选。
	质量流量控制器 M100B	M100B是一种弹性密封的质量流量控制器，可在生产、分析、工业以及测试等多种应用场合中用来控制气体的流量,其满量程范围从10 sccm–50 slm
	质量流量控制器 1579A	1579A弹性密封质量流量控制器是普通用的质量流量控制单元，其量程为50slm（106scfh）到300slm（638scfh）。1579A 数字控制电路与平衡阀结合，具有1秒以内的响应时间。1579的精度为全量程标准的±1% 。
	质量流量控制器 1559A	1559A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。
	质量流量控制器 1479A	1479A质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm,各种模拟和数字通讯口可选。
	质量流量控制器电源和显示仪 246C、247D、647C	246/247 单/四通道质量流量控制器电源和显示仪。提供质量流量控制器电源，流量设置和流量显示。647 四或八通道电源和显示仪。提供压力传感器和质量流量控制器电源，显示一路压力值，四路或八路流量设置和显示。 PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。
	626B Baratron®薄膜电容式压力传感器 626A,626B	626B Baratron®薄膜电容式压力传感器(工作在室温)，又称626B绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000 Torr，精度：读数值的 0.15%。626A已停产，626B是替代型，技术参数上没有什么区别，626B多个环保标识而已。
	Baratron®薄膜电容式压力传感器 622A、622B	622B Baratron®薄膜电容式压力传感器(工作在室温)，又称622B绝对压力传感器，满量程范围： 1 – 1000 Torr，精度：读数值的 0.15%。622A已停产，622B完全替代，多个环保标识而已。
	Baratron® 薄膜电容式压力传感器 627D、627B	MKS 627D Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在45℃)，又称627D绝对压力传感器，满量程范围： 0.02 – 1000 Torr，精度：读数值的 0.12%。
	Baratron® 薄膜电容式压力传感器 722A、722B	722 Baratron® 薄膜电容式压力传感器(工作在室温)，又称722紧凑型绝对压力传感器，满量程范围:1 – 2500 Torr，精度：读数值的 0.5%。
	压力测量及控制产品 622B、623B、626B、627C/D、628B	MKS是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，其压力测量及控制产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。

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