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产品简单介绍
600series Baratron® 薄膜电容式压力传感器
622A/626A、627B
MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一, 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的创新开发, 推动其产品一直处于全球技术领先地位。
2179A质量流量控制器
2179A
2179A质量流量控制器是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,它带有一个关闭阀,可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器,它还可以用作压力控制器。常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4 x 10-9 scc/sec(He)。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%和读数的1%。2179具有很小的功耗:在常规直流±15V供电工作时,单元电流仅有100mA(在最初开机阶段为200mA)。
1179A质量流量控制器
1179A
MKS1179A质量流量控制器是一种通用型的弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是对可重复性要求高的场合。配上合适的压力传感器,它还可以作为压力控制器使用。 对于当今市场上的质量流量控制器,1479是格式适应功能的替代物。标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%和读数的1%。
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