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磁控溅射阴极(美国安斯超科学Angstrom Sciences)
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产品简单介绍
磁控溅射阴极
ONYX ®
美国安斯超科学公司(Angstrom Sciences,Inc)成立于1988年, 是一家专业从事物理气相沉积磁控溅射阴极的高科技专业公司。专利的磁场设计和独特的水冷技术使其产品倍受欢迎。产品主要应用真空镀膜的各种领域:航天航空,太阳能,微电子,材料科学,光学,装饰,显示器,数据存储等。
条形磁控溅射阴极
ONYX-
随着越来越多的行业发现速度,可控性是磁控溅射的底线利益,安斯超科学(Angstrom Sciences)开发条形磁控溅射阴极,以最大限度地发挥更大,更快的制造工艺的输出。
圆形磁控溅射阴极
ONYX-1、 ONYX-2 、ONYX-3 、ONYX-4、ONYX-5 、ONYX-6、ONYX
安斯超科学(Angstrom Sciences)圆形磁控溅射阴极已成为溅射行业公认的新标准,因为除了Angstrom Advantage™的高级功能,它还提供了一更多别的优异性能。提供适用于1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 10, 12和16英寸的靶材直径,均匀性达到± 3-5%,利用率达到40%。
旋转圆柱溅射阴极
Onyx-RevolutionTM
安斯超科学(Angstrom Sciences)旋转圆柱溅射阴极:紧凑,经济,轻便,专利的磁场设计和水冷设计。提供10.6 °沉积剖面,85%以上的靶材利用以及相比,传统的圆柱磁控管省电高达20%,直径从3“到6”(76.2毫米到152.4毫米),长度可达154“(4米)。广泛用于平板显示,光伏、卷绕镀膜行业。
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