利方达有限公司
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石英晶体膜厚控制仪
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AE射频电源、直流电源、中频电源(美国Advanced Energy)
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椭偏仪(美国Angstromadvanced)
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产品简单介绍
光谱测量仪
PHE100
PHE100光谱测量仪简单、准确、可靠。可提供快速和容易的桌面或原位/在线测量研发和生产的膜厚或光学常数（n、K值）测量。可在很短的时间内完成测量和数据分析。 测量厚度范围: 20 nm to 50 μm
单波长型椭偏仪
PHE-101
PHE101单波长型椭偏仪是一个理想的单层和多层薄膜折射率和厚度测量仪器。 PHE101由于其精密光学分析仪/检测器和其稳定机械设计椭提供快速，准确的读数。 厚度范围：0 - 6000 nm
太阳能专用单波长椭偏仪
PHE101S
PhE101S太阳能专用单波长椭偏仪是一款用在硅片反射膜测量的理想仪器，她拥有Minsearch technique技术专利，它可以在设定的探测器测量的亮度值之前停止马达的转动 厚度测量范围: 0 - 6000 nm
多波长型椭偏仪
PHE101M
PHE101M是多波长型椭偏仪。可以选择不同的波长从紫外，可见光或近红外范围（最多5个波长）。 PHE101M椭PHE101拥有的所有的功能。 PHE101M由于其精密光学分析仪/检测器和其稳定的机械设计提供椭快速，准确的读数。 厚度测量范围：0 - 6000 nm
光谱型椭偏仪
PHE-102
PHE-102系列是一个角度可变的光谱型椭偏仪，光谱操作范围在250nm- 1100nm,250nm-1700nm或250nm-2100nm。 厚度测量范围：0 - 30000nm
UV/VIS NIR 光谱型椭偏仪
PHE 103
PHE-UV/VIS NIR 光谱型椭偏仪是一个新的型号，它增加了传输和可变角反射功能。这个变量的角度光谱椭偏仪的光谱范围是250 - 1100nm或250-1700nm或250-2100nm。 厚度测量范围：0 - 30000纳米
红外光谱椭偏仪
PhE104
NS-IRSE红外光谱椭偏仪是一种独特的红外光谱椭偏仪，基于单色器色散。它具有最高的准确度，精确度、和红外光谱仪相比，更经济。 椭偏光谱范围：标称MIR：400 CM -1〜4000 cm - 1
PHE系列椭偏仪附件
Accessories for PHE
Angstrom Advanced Inc 提供全线PHE系列椭偏仪附件，包括: Ellipsometry Wafer Mapping & Motorized X-Y Sample Stage,Automated Angle of Incidence, Micro Spot, Liquid Cell, Heater, CCD Image Camera and many others.
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