AE磁控溅射电源、射频电源

主营产品：石英晶体膜厚控制仪 comdel射频电源质量流量计氦质谱检漏仪 AE电源

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压电阀

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	AE电源 PEII 系列中频电源 PE II	AE电源 PEII 系列中频电源:提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。高效能、紧凑型水冷式设计。
	CESAR® 射频发生器 CESAR?	强大而多功能的 Cesar® 平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。
	Pinnacle®系列直流磁控电源 Pinnacle?系列	业界公认的Pinnacle®系列直流磁控电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。

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