AE射频电源、直流电源、中频电源(美国Advanced Energy)

主营产品：石英晶体膜厚控制仪氦质谱检漏仪真空规管真空镀膜机

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	PEII 系列中频电源 PE II 5KW、PEII 10KW	AE电源PEII 系列中频电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。高效能、紧凑型水冷式设计。
	VARIOMATCH自动匹配器 VARIOMATCH	VARIOMATCH自动匹配器与 CESAR 射频发生器相配套完整系列的。可变匹配操作在没有任何外部控制器的情况下可自动进行，但是也可通过 CESAR 射频发生器的前面板进行手动控制。
	Navigator 数字阻抗匹配器 Navigator	Navigator 数字阻抗匹配器提供在各种负载阻抗下进行快速、准确且可靠匹配的先进匹配技术。Navigator 匹配网络配备了由微处理器控制的步进电机电路和用户可选的数字调谐算法，通过自动调整耦合等离子的复阻抗，最大限度地减小反射功率。选择包括：用于实时测量和分析过程功率和阻抗的 Z’Scan? 射频传感器，以及能够通过一台个人计算机来监控并对匹配网络下达指令的虚拟前面板 (VFP) 软件。
	Pinnacle Plus+ 直流脉冲电源 Pinnacle Plus+ 5KW、5/5KW、10KW	Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 直流脉冲电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。
	CESAR® 射频发生器 CESAR133、CESAR136、CESAR1310、CESAR1312、CESAR1320、CE	强大而多功能的CESAR® 射频发生器可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。
	Pinnacle®系列直流磁控电源 Pinnacle?系列	业界公认的Pinnacle®系列直流磁控电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。

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