Inficon真空仪器及膜厚控制产品

主营产品：石英晶体膜厚控制仪氦质谱检漏仪真空规管真空镀膜机

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Inficon真空仪器及膜厚控制产品下的更多分类

膜厚控制仪（晶控仪）

检漏仪

真空规管

气体分析仪（RGA）

产品列表

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	MDC-360C石英晶体膜厚控制仪 MDC-360C	MDC-360C石英晶体膜厚控制仪利用闭环控制对单层或多层薄膜蒸镀过程进行准确的控制。通过可靠的数字信号程控提供蒸镀膜层特性的预测和可重复性，可用于批量生产或实验室研发。该设备具有功能强大的自我检测系统在自动运行模式过程中，即使在感应器晶片失效情况下仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序,国产镀膜机标准配置。
	SQC310石英晶体膜厚控制仪 SQC310	SQC310石英晶体膜厚控制仪具有先进的电子学, 改进的显示器, 和非常高的性价比，是MDC-360C的最佳替代品。
	SQM160膜厚监测仪 SQM160	SQM160膜厚监测仪是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
	IC/6石英晶体膜厚控制仪 IC/6	多用途的IC/6石英晶体膜厚控制仪理想地适用于控制多源、多坩埚、多材料或多过程系统的膜层沉积速率和膜厚。IC/6可满足即使最复杂、最高要求与特殊应用的需要。它擅长于过程控制、逻辑功能、程序和膜层储存容量、过程数据管理，尤其是沉积速率与膜厚的控制。
	XTC/3石英晶体膜厚控制仪 XTC3/M,XTC3/S	XTC/3石英晶体膜厚控制仪是－款先进,实用的单层和多层镀膜速率控制，无论您需要控制产品的合格性，或是用于生产、科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。
	UL1000氦质谱检漏仪 UL1000	inficon UL1000氦质谱检漏仪专门设计用于工业、MOCVD、半导体、电子元器件、高能物理、研发等领域的检漏。
	UL1000Fab氦质谱检漏仪 UL1000Fab	INFICON UL1000Fab氦质谱检漏仪专门为满足半导体应用的要求而设计，广泛用于工业、MOCVD、半导体、电子元器件、高能物理、研发等领域的检漏。
	CDG025D真空规管 CDG025D	CDG025D真空规管真空规属于高精度温度补偿型的电容薄膜规。CDG025D真空规管广泛用于用于刻蚀，CVD, PVD, ALD半导体制造设备，资料贮存和显示器制造设备，工业真空设备，常用高精度真空测量。CDG025D真空规管在太阳能行业大量使用。
	Pirani 标准真空计 PSG500、PSG500-S、PSG502-S	INFICON的Pirani 标准真空计PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的最先进的Pirani技术. 温度补偿提供快速与最稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中.
	Pirani 电容式隔膜真空计 PCG550、PCG552、PCG554	INFICON Pirani 电容式隔膜真空计 (PCG55x) 集 INFICON 陶瓷电容隔膜传感器专利技术与 Pirani 真空计的优势于一体。在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度精确的可靠压力测量值。 PCG55x 功能丰富，提供多种配置，可满足您的特定应用要求。
	潘宁规 PEG100	PEG100潘宁规是内含测量系统与工作电子学的小型压强变换器. 用于安装于真空系统中,测量范围从1·10-9 至 1·10-2毫巴.PEG100潘宁规通过它的DN 25 KF或DN 40 CF法兰直接连接真空系统
	冷阴极和皮拉尼复合真空规 MPG400、MPG401	MPG400、MPG401冷阴极和皮拉尼复合真空规，测量范围从 5x10-9毫巴至大气压的全量程规。
	高压强热电离皮拉尼真空计 HPG400	HPG 400型高压强热电离皮拉尼真空计是高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中，测量压强从2×10-6至1000 毫巴(1.5×10-6 至750乇)。
	Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计 BPG402-S	BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计是两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压).
	B-A皮拉尼电容薄膜真空计 BCG450	INFICON公司生产的BCG450型B-A皮拉尼电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中.
	真空计控制器 VGC401、VGC402、VGC403	VGC400 系列真空计控制器兼有四个测量原理（热阴极、冷阴极、Pirani 和电容式隔膜真空计），可以监控 10 -10 - 1500 mbar (10 -10 - 1125 Torr) 整个压力范围。
	压强控制仪 VCC500	VCC500控制器和VDM005-X压电陶瓷阀组成的压强控制仪配套先进的复合真空规管使用，可自动控制充气量及压强的变化。速度快，精度高，可靠性好。
	Transpector 2 残余气体质谱仪 H100、H200、H300	Transpector 2 残余气体质谱仪提供了更良好的氢检测，更快速的扫描，扩展的动态量程，更高的同位素分别灵敏度和卓越的谱峰已幅值稳定性，它是过程监测，过程诊断已检漏使用中最明智的选择。
	Transpector XPR3 气体分析系统 XPR3	Transpector XPR3 气体分析系统是新一代四级质谱参与其分析仪，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有前所未有的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。 Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。
	Transpector CPM 紧凑型过程监控器 CPM100，CPM200，CPM300	INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪，适用于现场监控复杂的过程。这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术，帮助您达到新的性能水平。

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