inficon 晶控仪、检漏仪、规管、RGA

主营产品：石英晶体膜厚控制仪 comdel射频电源质量流量计氦质谱检漏仪 AE电源

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产品列表

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	MDC-360C石英晶体膜厚控制仪 MDC-360C	MDC-360C石英晶体膜厚控制仪利用闭环控制对单层或多层薄膜蒸镀过程进行准确的控制。通过可靠的数字信号程控提供蒸镀膜层特性的预测和可重复性，可用于批量生产或实验室研发。该设备具有功能强大的自我检测系统在自动运行模式过程中，即使在感应器晶片失效情况下仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序,国产镀膜机标准配置。
	SQC310石英晶体膜厚控制仪 SQC310	SQC310石英晶体膜厚控制仪具有先进的电子学, 改进的显示器, 和非常高的性价比。
	XTC/3石英晶体膜厚控制仪 XTC/3	XTC/3石英晶控仪－先进,实用的单层和多层镀膜速率控制，无论您需要控制产品的合格性，或是用于生产、科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。
	IC/5石英晶体膜厚控制仪 IC/5	用途的IC/5理想地适用于控制多源、多坩埚、多材料或多过程系统的膜层沉积速率和膜厚。IC/5可满足即使最复杂、最高要求与特殊应用的需要。它擅长于过程控制、逻辑功能、程序和膜层储存容量、过程数据管理，尤其是沉积速率与膜厚的控制。
	SQM160膜厚监测仪 SQM160	SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
	PSG500 Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S	INFICON的Pirani标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的最先进的Pirani技术. 温度补偿提供快速与最稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中.
	MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400	INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401，测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
	PEG100潘宁规 PEG100	The INFICON Penning Gauge PEG100 provides reliable high vacuum measurements. the rugged Penning cold cathode sensor has no filament to burn out. Due to titanium cathode plates and the reduced high voltage after plasma ignition, the gauge can be operated also in sputtering applications. The fieldbus
	CDG025D电容薄膜规 CDG025D	The SKY CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge line of highly accurate, temperature compensated manometers is designed for stable performance in harsh manufacturing tool environments. Advanced digital electronics improve the gauge's performance and offer features such as one push button zero function a
	HPG 400型高压强热电离皮拉尼真空计 HPG400	INFICON公司生产的HPG 400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中，测量压强从2×10-6至1000 毫巴(1.5×10-6 至750乇)。HPG 400提供高度的重复性和再现性压强测量，用于精确的溅射过程的压强控制。
	BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计 BPG402-S	NFICON生产的Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成的复杂性.在一个小型外壳内装有双敷涂钇的氧化铱灯丝的BPG402-S用于频繁与重复的工艺过程中测量基本压强. 带有在机校准数据的敏感元件保证更换传感器的高度再现性.
	VGC400系列真空规管控制器 VGC401、VGC402、VGC403	Your complete solution for process measurement and control.Compatible with four measurement principles - hot cathode, cold cathode, Pirani, orcapacitance diaphragm INFICON gauges, the VGC400 series of controllers can monitorthe entire pressure range from 10-10 to 1500 mbar (10-10 to 1125 Torr).
	infcion压强控制仪 VCC500	VCC500控制器和VDM005-X压电陶瓷阀组成的压强控制仪配套先进的复合真空规管使用，可自动控制充气量及压强的变化。速度快，精度高，可靠性好。
	UL1000氦质谱检漏仪 UL1000	UL1000氦质谱检漏仪尤期适用于元器件精确的要求，灵活性测试、高灵敏度、快速与精确的结果、快速启动、移动性和系统的可靠性。UL1000符合微电子工业市场的要求，其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，至I·CAL*，无与论比的、用于消除在超高灵敏漏率范围中长平衡时间的程序。系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比降低并消除氦污染。
	Transpector®2 Gas Analysis System Transpector 100	INFICON RGA技术的领先者按照当今工艺和应用要求更新了Transpector气体分析仪系列。Transpector 2 提供更良好得氢检测，更快速的扫描，扩展的动态量程，更高的同位素分辨灵敏度，和卓越的谱峰与幅值稳定性。它是过程监测，过程诊断与检漏使用中最明智的选择。
	Transpector CPM 全功能残余气体分析仪 CPM100	用于监测最新工艺的全功能残余气体分析仪

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