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Aera质量流量控制器
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产品简单介绍
FC-7700质量流量控制器
FC-7700CD,FC-77XX 系列
Aera®FC-7700质量流量控制器是经实践验证的适用多种应用场合的标准产品,该流量计采用非金属密封,流量控制精确,性价比高。该产品专为从业于半导体、平板显示、数据存储、工业真空和工业镀膜市场的 工艺和设备工程设计,同时,该系列产品在CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其他镀膜工艺等非腐蚀性气体应用领域表现出良好的可靠性和优异的性能。
质量流量控制器
FC-7800CD、FC-78XX系列
Aera® FC-7800系列质量流量控制器提供精確的流量控制以极佳的阻抗性能和超高防漏的金屬密封,适合大部分氣體控制用。
质量流量控制器
FC-PA780、FC-PA78x/PA78xx
Aera Transformer数字式质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)适用于多种不同的应用,包括CVD、PVD、扩散和刻蚀等等,将改变您的工艺,提供最佳灵活性和效率,从而带来更多的产量、更高的生产率,和更低的成本。先进的传感器和阀技术,经过现场应用验证的平台组件以及高速的数字线路带来当今最精准的气体流量控制。凭借无与伦比的可靠性和出色的反应、精确性和可重复性。
质量流量控制器
FC-D980,FC-D98XX系列
Aera® FC-D980多功能性数字式质量流量控制器。具更高的精度,可重复性和稳定性,显着的成本节约,最大的多功能性操作,无与伦比的可靠性。
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